פּרעציזיע גלאָז קאָמפּאָנענטן אין אָפּטישע סיסטעמען: אַפּליקאַציעס און מאַנופאַקטורינג טשאַלאַנדזשיז

אָפּטיש גלאָז איז די רוקן-ביין פון מאָדערנער פאָטאָניק. פֿון קאָמוניקאַציע ביז פֿאַרטיידיקונג, די רעקווייערמענץ פֿאַר די קאָמפּאָנענטן ווערן אַלץ שטרענגער.

אין הויך-מאַכט לאַזער סיסטעמען, מוזן אָפּטישע קאָמפּאָנענטן אויסהאַלטן ריזיקע ענערגיע געדיכטקייטן. יעדער מיקראָסקאָפּישער דעפעקט אָדער פֿאַרפּעסטיקונג אין גלאָז קען פֿירן צו לאַזער-ינדוסט שאָדן, קאָמפּראָמיטירנדיק דעם גאַנצן סיסטעם. דער פֿאָקוס פֿון דער פֿאַבריקאַציע דאָ איז אויף עלימינירן אונטערערדישע שאָדן און זיכער מאַכן הויכע האָמאָגעניטעט צו פֿאַרמייַדן שטראַל פֿאַרדרייונג.

ווי ספעיס טעלעסקאָפּן און ווייט-דעטעקטינג אינסטרומענטן וואַקסן אין עפענונג גרייס (איצט איבער 4 מעטער), ווערט די נויטווענדיקייט פֿאַר לייכטקייט און ייבערפלאַך אַקיעראַסי שטאַרקער. אָפּטישע קאָמפּאָנענטן פֿאַר ספעיס מוזן האַלטן זייער פאָרעם אין עקסטרעמע טערמישע סביבות, וואָס דאַרפן מאַטעריאַלן מיט גאָר נידעריקע טערמישע יקספּאַנשאַן קאָעפֿיציענטן.

אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע, פֿאַרלאָזן זיך EUV ליטאָגראַפֿיע סיסטעמען אויף רעפֿלעקטיווער שפּיגלען מיט אַן אויבערפֿלאַך ראַפֿקייט קאָנטראָלירט צו ווייניקער ווי 0.1 נאַנאָמעטער (RMS). אפילו אַטאָמישע בומפּס קענען צעשפּרייטן ליכט און צעשטערן די רעזאָלוציע פֿון אַ טשיפּ. דאָס רעפּרעזענטירט דעם שפּיץ פֿון אָפּטישער גלאָז פּראָדוקציע.

די מאַנופאַקטורינג אַרויסרופן: דרוק, פלאַכקייט און גלאַטקייט

1. קאָנטראָלירן אינערלעכן דרוק

• די אַרויסרופן: מאַשינינג שווער, שוואַך גלאז אָפט פירט צו מיקראָ-שטרענגען.
• אונדזער צוגאַנג: מיר נוצן אַוואַנסירטע אַנילינג פּראָצעסן און נידעריק-שאָדן פאָרמינג טעקניקס. דורך שטרענג קאָנטראָלירן די קיל ראַטעס און ניצן דרוק-רעליעף מאַשינינג סטראַטעגיעס, מיר ענשור אַז די ינערלעך סטרוקטור פון די גלאז בלייבט נייטראַל און סטאַביל.

2. דערגרייכן אולטרא-הויך פלאַכקייט (נידעריק אָפטקייט אַקיעראַסי)

• די אַרויסרופן: טראַדיציאָנעלע שלייפן קען לאָזן כוואַליעס אָדער פֿאָרמען ערראָרס וואָס פאַרערגערן כוואַליעפֿראָנט אַקיעראַסי.
• אונדזער צוגאַנג: מיר נוצן הויך-גענוי קאָמפּיוטער-קאָנטראָלירטע אָפּטישע סורפאַסינג (CCOS). דאָס דערמעגלעכט אונדז צו קאָריגירן נידעריק-פרעקווענץ ערראָרס (פאָרעם אָפּנייגונגען) צו דערגרייכן שפּיץ-צו-טאָל (PV) ווערטן אָפט ווייניקער ווי 1 נאַנאָמעטער, און זיכער מאַכן אַז דער אָפּטישער דרך בלייבט פּערפעקט אויסגעשטעלט.

3. ייבערפלאַך ראַפנאַס (הויך אָפטקייַט גלאַטנאַס)

• די אַרויסרופן: אַוועקנעמען די "נעפּל" און מיקראָ-קראַצן וואָס זענען געבליבן דורך שלייפן ריקווייערז איבערגאַנג פון מאַטעריאַל אַוועקנעמען צו ייבערפלאַך גלאַטן.
• אונדזער צוגאַנג: מיר נוצן אַוואַנסירטע פּאָליר טעכנאָלאָגיעס, אַרייַנגערעכנט מאַגנעטיש אַסיסטירטע פינישינג. די טעכניק דערמעגלעכט די באַטש פּראַסעסינג פון קאָמפּלעקסע פֿאָרמען (ווי פֿרײַפֿאָרעם לענסעס) בשעת מיר דערגרייכן סוב-נאַנאָמעטער ייבערפלאַך ראַפנאַס (Ra < 0.6 נם) אָן צו ברענגען נײַע אונטערערדישע שעדיקן.

ZHHIMG: אייער שותף אין אולטרא-פּרעציציע

• קאָמפּלעקסע געאָמעטריעס: מאַשינינג פון פרייפאָרם, אַספערישע און פּלאַנאַר אָפּטישע קאָמפּאָנענטן.
• מעטראָלאָגיע און דורכקוק: ניצן ינטערפֿעראָמעטערס און פּראָפילאָמעטערס צו וועריפיצירן ייבערפלאַך קוואַליטעט און פאָרעם אַקיעראַסי אין פאַקטיש-צייט.
• מאַטעריאַל עקספּערטיז: טיפע דערפאַרונג מיט פאַרשמאָלצן סיליקאַ, קוואַרץ, און ספּעציאַליזירטע אָפּטישע ברילן באַקאַנט פֿאַר הויך טראַנסמיסיע און נידעריק יקספּאַנשאַן.