וועט די גראַניט מאַשין באַזע זיך אויסברייטערן צוליב היץ בעת וועיפער סקאַנינג?

אין דעם שליסל-לינק פון טשיפּ פאַבריקאַציע - וועיפער סקאַנינג, באַשטימט די אַקיעראַסי פון די עקוויפּמענט די קוואַליטעט פון דעם טשיפּ. ווי אַ וויכטיקער קאָמפּאָנענט פון דער עקוויפּמענט, האָט די טערמישע יקספּאַנשאַן פּראָבלעם פון דער גראַניט מאַשין באַזע געצויגן פיל אויפמערקזאַמקייט.

דער קאעפיציענט פון טערמישער אויסברייטונג פון גראַניט איז געוויינטלעך צווישן 4 און 8×10⁻⁶/℃, וואָס איז פיל נידעריגער ווי יענע פון ​​מעטאַלן און מאַרמאָר. דאָס מיינט אַז ווען די טעמפּעראַטור ענדערט זיך, ענדערט זיך איר גרייס רעלאַטיוו ווייניק. אָבער, עס איז וויכטיק צו באַמערקן אַז נידעריקע טערמישע אויסברייטונג מיינט נישט אַז עס איז נישטאָ קיין טערמישע אויסברייטונג. אונטער עקסטרעמע טעמפּעראַטור פלוקטואַציעס, קען אפילו די קלענסטע אויסברייטונג אַפעקטירן די נאַנאָסקאַלע אַקיעראַסי פון וועיפער סקאַנינג.

בעת דעם וועיפער סקענען פראצעס, זענען דא פארשידענע סיבות פארן אויפטרעטן פון טערמישער אויסברייטונג. די טעמפעראטור וואקלענישן אין דער ווארקשאפ, די היץ וואס ווערט גענערירט דורך די אפעראציע פון ​​עקוויפמענט קאמפאנענטן, און די אינסטאנטע הויכע טעמפעראטור וואס ווערט געבראכט דורך לייזער פראצעסירונג וועלן אלע פאראורזאכן אז די גראניט באזע זאל "אויסברייטערן און זיך צוזאמענציען צוליב טעמפעראטור ענדערונגען". אזוי שנעל ווי די באזע גייט אדורך טערמישע אויסברייטונג, קען די גלייכקייט פון די פירער רעלס און די פלאכקייט פון דער פלאטפארמע אפווייכן, וואס רעזולטירט אין אן אומרעכטע באוועגונג טראיעקטאריע פון ​​דעם וועיפער טיש. די שטיצנדיקע אפטישע קאמפאנענטן וועלן אויך זיך פאררוקן, וואס פאראורזאכט אז דער סקענען שטראל זאל "אפווייכן". ארבעטן קאנטינעווירלעך פאר א לאנגע צייט וועט אויך אנזאמלען ערראָרס, מאכנדיג די גענויקייט ערגער און ערגער.

אבער זאָרגט נישט. מענטשן האָבן שוין לייזונגען. אין טערמינען פון מאַטעריאַלן, וועלן גראַניט ווענעס מיט אַ נידעריקער קאָעפֿיציענט פון טערמישער יקספּאַנשאַן אויסגעקליבן ווערן און אונטערגעוואָרפן ווערן צו אַן אַלטערונג באַהאַנדלונג. אין טערמינען פון טעמפּעראַטור קאָנטראָל, ווערט די וואַרשטאַט טעמפּעראַטור פּינקטלעך קאָנטראָלירט ביי 23±0.5℃ אָדער אפילו נידעריקער, און אַן אַקטיוו היץ דיסיפּיישאַן מיטל וועט אויך דיזיינט ווערן פֿאַר דער באַזע. אין טערמינען פון סטרוקטורעלן פּלאַן, ווערן סימעטרישע סטרוקטורן און פלעקסיבלע שטיצעס אנגענומען, און רעאַל-צייט מאָניטאָרינג ווערט דורכגעפֿירט דורך טעמפּעראַטור סענסאָרן. די ערראָרס געפֿירט דורך טערמישער דעפֿאָרמאַציע ווערן דינאַמיש קאָריגירט דורך אַלגעריטמען.

הויך-קוואַליטעט עקוויפּמענט ווי ASML ליטאָגראַפֿיע מאַשינען, דורך די מעטאָדן, האַלטן די טערמישע יקספּאַנשאַן ווירקונג פון די גראַניט באַזע אין אַ גאָר קליינעם קייט, וואָס ערמעגליכט די ווייפער סקאַנינג אַקיעראַסי צו דערגרייכן די נאַנאָמעטער מדרגה. דעריבער, ווי לאַנג ווי עס איז ריכטיק קאַנטראָולד, בלייבט די גראַניט באַזע אַ פאַרלאָזלעך ברירה פֿאַר ווייפער סקאַנינג עקוויפּמענט.