גראַניט איז שוין לאַנג ברייט געניצט געוואָרן אין דער פּראָדוקציע און פּלאַנירונג פֿון האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט. דאָס איז צוליב זיינע אויסגעצייכנטע אייגנשאַפֿטן, וואָס מאַכן עס אַן אידעאַלן מאַטעריאַל פֿאַר פֿיל אַפּליקאַציעס. גראַניט איז זייער קעגנשטעליק קעגן טראָגן, קעראָוזשאַן און טערמישע שאַקס, וואָס מאַכט עס פּאַסיק פֿאַר נוצן אין שווערע סביבות. אין דעם אַרטיקל וועלן מיר דיסקוטירן עטלעכע פֿון די געוויינטלעכע אַפּליקאַציעס פֿון גראַניט אין האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט.
1. מעטראָלאָגיע עקוויפּמענט
מעטראלאגיע עקוויפּמענט ווערט גענוצט צו מעסטן די דימענסיעס און אייגנשאפטן פון האַלב-קאָנדוקטאָר דעוויסעס. גראַניט ווערט אָפט גענוצט ווי אַ באַזע פֿאַר אַזאַ עקוויפּמענט צוליב זיין הויך דימענסיאָנעלער פעסטקייט. די פלאַכקייט און פּינקטלעכקייט פון דער גראַניט ייבערפלאַך צושטעלן אַן אידעאַלע רעפערענץ פֿאַר פּינקטלעכע מעסטונגען. דערצו, גראַניט'ס טערמישע פעסטקייט ראַדוסירט דעם ריזיקירן פון דימענסיאָנעלע ענדערונגען רעכט צו טעמפּעראַטור וועריאַציעס.
2. אָפּטישע עקוויפּמענט
גראַניט ווערט אויך גענוצט אין אָפּטישע עקוויפּמענט ווי ליטאָגראַפֿיע מאַשינען, וואָס ווערן גענוצט אין דער פֿאַבריקאַציע פֿון האַלב-קאָנדוקטאָר דעוויסעס. די גראַניט באַזע גיט אַ סטאַבילע פּלאַטפאָרמע פֿאַר די הויך-פּרעציציע אָפּטיק וואָס ווערט גענוצט אין די מאַשינען. גראַניט'ס אויסגעצייכנטע ווייבריישאַן דעמפּענינג אייגנשאַפֿטן העלפֿן אויך רעדוצירן ווייבריישאַנז וואָס קענען אַפֿעקטירן די פאָרשטעלונג און אַקיעראַסי פֿון די אָפּטיק.
3. וועיפער פּראַסעסינג עקוויפּמענט
האַלב-קאָנדוקטאָר וועיפער פּראַסעסינג נעמט אַרײַן עטלעכע טריט, אַרײַנגערעכנט רייניקונג, עטשינג און דעפּאָזיציע. גראַניט ווערט גענוצט אין עטלעכע קאָמפּאָנענטן פון די וועיפער פּראַסעסינג עקוויפּמענט. למשל, גראַניט ווערט גענוצט ווי אַ סאַבסטראַט פֿאַר כעמישע פארע דעפּאָזיציע (CVD) עקוויפּמענט, וואָס ווערט גענוצט צו דעפּאָזיטירן דין פילמען אויף סיליקאָן וועיפערס. גראַניט ווערט אויך גענוצט אין דער קאַנסטרוקציע פון עטשינג קאַמערן און אַנדערע פּראָצעס כלים, וואו זײַן אויסגעצייכנטע כעמישע קעגנשטעל און דימענסיאָנעלע פעסטקייט זענען וויכטיק.
4. טעסט עקוויפּמענט
טעסט עקוויפּמענט ווערט גענוצט צו וועריפיצירן די פאָרשטעלונג און קוואַליטעט פון האַלב-קאָנדוקטאָר דעוויסעס. גראַניט ווערט אָפט גענוצט ווי אַ באַזע פֿאַר טעסט עקוויפּמענט צוליב זיין הויך שטייפקייט און פעסטקייט. גראַניט גיט אַ ניט-מאַגנעטישע און ניט-קאַנדאַקטיווע פּלאַטפאָרמע וואָס עלימינירט ינטערפיראַנס מיט סענסיטיוו טעסט עקוויפּמענט. די פלאַכקייט און פּינקטלעכקייט פון דער גראַניט ייבערפלאַך דערמעגלעכן העכסט פּינקטלעכע טעסט רעזולטאַטן.
מסקנא
אין מסקנא, גראַניט איז אַ וויכטיק מאַטעריאַל אין די פּלאַן און פּראָדוקציע פון האַלב-קאָנדוקטאָר ויסריכט. זייַנע אויסגעצייכנטע אייגנשאַפטן, אַרייַנגערעכנט דימענסיאָנעלע פעסטקייט, טערמישע פעסטקייט, כעמישע קעגנשטעל, און ווייבריישאַן דעמפאַנינג, מאַכן עס אַן אידעאַל מאַטעריאַל פֿאַר פילע אַפּלאַקיישאַנז. גראַניט ווערט גענוצט אין עטלעכע קריטישע קאָמפּאָנענטן פון האַלב-קאָנדוקטאָר ויסריכט, אַרייַנגערעכנט מעטראָלאָגיע ויסריכט, אָפּטישע ויסריכט, וועיפער פּראַסעסינג ויסריכט, און טעסט ויסריכט. ווי די פאָדערונג פֿאַר שנעלערע, קלענערע און מער שטאַרקע האַלב-קאָנדוקטאָר דעוויסעס פאָרזעצט צו וואַקסן, איז די נוצן פון גראַניט אין האַלב-קאָנדוקטאָר ויסריכט מסתּמא צו בלייבן וויכטיק.
פּאָסט צייט: 8טן אַפּריל 2024