וואָס זענען די אַלטערנאַטיווע מאַטעריאַלן פֿאַר גראַניט טיילן אין האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט? וואָס זענען די מעלות און חסרונות פון די אַלטערנאַטיווע מאַטעריאַלן קאַמפּערד צו גראַניט?

גראַניט איז געווען אַ אָפט גענוצטער מאַטעריאַל אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע צוליב זיינע אויסגעצייכנטע מעכאַנישע אייגנשאַפטן, טערמישע פעסטקייט, און נידעריקן קאָעפיציענט פון טערמישער יקספּאַנשאַן. אָבער, מיט דער שטענדיק-וואַקסנדיקער פאָדערונג פֿאַר העכערער פּינקטלעכקייט און פּראָדוקטיוויטעט, זענען אַלטערנאַטיווע מאַטעריאַלן אַרויסגעקומען ווי מעגלעכע אָפּציעס פֿאַר דער פאַבריקאַציע פון האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט קאָמפּאָנענטן. אין דעם אַרטיקל וועלן מיר אויספאָרשן עטלעכע פון די אַלטערנאַטיווע מאַטעריאַלן פֿאַר גראַניט טיילן אין האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט און פאַרגלייַכן זייערע מעלות און חסרונות.

אַלטערנאַטיווע מאַטעריאַלן פֿאַר גראַניט טיילן

1. גלאָז-קעראַמישע מאַטעריאַלן

גלאז-קעראַמישע מאַטעריאַלן, ווי זעראָדור און סערוויט, האָבן געוואונען ברייטע נוצן אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע צוליב זייער נידעריקן טערמישן יקספּאַנשאַן קאָעפֿיציענט, וואָס איז נאָענט צו דעם פון סיליקאָן. דעריבער, קענען די מאַטעריאַלן צושטעלן בעסערע טערמישע פעסטקייט און פֿאַרבעסערטע פּינקטלעכקייט אין דעם האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע פּראָצעס. זעראָדור, ספּעציעל, האָט אַ הויכן גראַד פון האָמאָגעניטעט און פעסטקייט, מאַכנדיג עס פּאַסיק פֿאַר דער פּראָדוקציע פון ליטאָגראַפֿיע ויסריכט.

מעלות:

- נידעריקע קאָעפיציענט פון טערמישער יקספּאַנשאַן
- הויך פּינקטלעכקייט און פעסטקייט
- פּאַסיק פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור אַפּלאַקיישאַנז

חסרונות:

- העכערע קאסטן קאמפערד צו גראניט
- רעלאַטיוו שוואַך, קען שאַפֿן שוועריקייטן אין מאַשינינג און האַנדלינג

2. קעראַמיק

קעראַמישע מאַטעריאַלן, ווי אַלומינום אָקסייד (Al2O3), סיליקאָן קאַרבייד (SiC), און סיליקאָן ניטריד (Si3N4), האָבן אויסגעצייכנטע מעכאַנישע אייגנשאַפטן, הויך-טעמפּעראַטור קעגנשטעל, און נידעריק טערמיש עקספּאַנשאַן קאָעפֿיציענט. די אייגנשאַפטן מאַכן קעראַמיק ידעאַל פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר ויסריכט טיילן וואָס דאַרפן הויך טערמישע פעסטקייט און פּינקטלעכקייט, ווי וועיפער סטאַגעס און טשאַקס.

מעלות:

- הויך טערמישע פעסטקייט און שטאַרקייט
- נידעריק טערמישע יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט
- הויך טראָגן קעגנשטעל און כעמישער ינערטנאַס

חסרונות:

- קען זיין שוואַך און פּראָנע צו קראַקינג, ספּעציעל בעת מאַשינינג און האַנדלינג
מאַשינינג און פּאָלירן פון קעראַמיק קען זיין טשאַלאַנדזשינג און צייט-קאַנסומינג

3. מעטאַלן

מעטאַל-באַזירטע מאַטעריאַלן, ווי ומבאַפלעקט שטאָל און טיטאַניום, זענען געניצט געוואָרן פֿאַר עטלעכע האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט טיילן צוליב זייער אויסגעצייכנטער מאַשינאַביליטי און הויך שטאַרקייט. זיי ווערן אָפט געניצט אין אַפּליקאַציעס וואו הויך טערמישע פעסטקייט איז נישט פארלאנגט, ווי קאַמער טיילן, קאַפּלינגז און דורכפֿירן.

מעלות:

- גוטע מאַשינאַביליטי און וועלדאַביליטי
- הויך שטאַרקייט און דאַקטילאַטי
- נידעריקע קאָסטן קאַמפּערד צו עטלעכע פון די אַלטערנאַטיווע מאַטעריאַלן

חסרונות:

- הויך טערמישע יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט
- נישט פּאַסיק פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור אַפּליקאַציעס רעכט צו טערמישע יקספּאַנשאַן פּראָבלעמען
- סאַסעפּטאַבאַל צו קעראָוזשאַן און קאַנטאַמאַניישאַן

מסקנא:

אין קורצן, כאָטש גראַניט איז געווען אַ פּאָפּולערע ברירה פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט טיילן, זענען אַרויסגעקומען אַלטערנאַטיווע מאַטעריאַלן, יעדער מיט אייגענאַרטיקע מעלות און חסרונות. גלאָז-קעראַמיק מאַטעריאַלן זענען זייער פּינקטלעך און סטאַביל אָבער קענען זיין שוואַך. קעראַמיקס זענען שטאַרק און האָבן אַן אויסגעצייכנטע טערמישע פעסטקייט אָבער קענען אויך זיין שוואַך, מאַכנדיג זיי מער שווער צו פּראָדוצירן. מעטאַלן זענען ביליק, מאַשינאַבאַל און דאַקטיל, אָבער זיי האָבן אַ העכערע קאָעפיציענט פון טערמישער יקספּאַנשאַן און זענען סאַסעפּטאַבאַל צו קעראָוזשאַן און קאַנטאַמאַניישאַן. ווען מען סעלעקטירט מאַטעריאַלן פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט, איז עס קריטיש צו באַטראַכטן די ספּעציפֿישע באדערפענישן פון דער אַפּליקאַציע און סעלעקטירן מאַטעריאַלן וואָס באַלאַנסירן קאָסטן, פאָרשטעלונג און פאַרלאָזלעכקייט.