דער "אומזעיקבארער שילד" פון פּינקטלעכער הידראָסטאַטישער לופט פלאָוטינג באַוועגונג פּלאַטפאָרמע: די שטרענגע ענווייראָנמענטאַלע רעקווירעמענץ פון גראַניט פּינקטלעכקייט באַזע.

אין די פעלדער פון הויך-ענד פאבריקאציע און שניידנדיקע וויסנשאפטלעכע פארשונג, איז די פּרעציזיע סטאַטישע דרוק לופט פלאָוטינג באַוועגונג פּלאַטפאָרמע די שליסל ויסריכט צו דערגרייכן אולטראַ-פּרעציציע אָפּעראַציע. די גראַניט פּרעציזיע באַזע איז דער קערן שטיצנדיק טייל פון דער פּלאַטפאָרמע, און איר פאָרשטעלונג איז ענג פארבונדן מיט דער אַרבעט סביבה. פארשטיין און טרעפן די סביבה באדערפענישן קען ניט בלויז ענשור די הויך-פּרעציציע אָפּעראַציע פון ​​דער פּלאַטפאָרמע, אָבער אויך אַ וויכטיק טייל פון דער פאַרנעמונג צו פֿאַרבעסערן איר קאַמפּעטיטיוונאַס אין פֿאַרבונדענע פעלדער, וואָס איז דיסקרייבד אין דעטאַל אונטן.

1. טעמפּעראַטור: פּינקטלעכע קאָנטראָל צו ענשור דימענשאַנאַל פעסטקייט
כאָטש גראַניט איז באַקאַנט פֿאַר זײַן פעסטקייט, איז זײַן קאָעפֿיציענט פֿון טערמישער אויסברייטונג נישט נול, און קליינע טעמפּעראַטור ענדערונגען קענען נאָך אַלץ אַפֿעקטירן זײַן דימענסיאָנעלער גענויקייט. בכלל גערעדט, איז דער טערמישער אויסברייטונג קאָעפֿיציענט פֿון גראַניט 5-7 ×10⁻⁶/℃. אין דער אַפּליקאַציע סצענאַר פֿון אַ פּרעציזיע סטאַטישע דרוק לופֿט פֿלאָוטינג באַוועגונג פּלאַטפאָרמע, ווערט די קליינע ענדערונג פֿאַרשטאַרקט דורך דער פּלאַטפאָרמע, וואָס קען פֿירן צו אַ דעוויאַציע פֿון באַוועגונג גענויקייט. למשל, אין דעם האַלב-קאָנדוקטאָר טשיפּ פֿאַבריקאַציע פּראָצעס, דער ליטאָגראַפֿיע פּראָצעס פֿאַר פּאָזיציאָנירן גענויקייט רעקווייערמענץ פֿון דאַנאַמי לעוועל, די אַמביאַנט טעמפּעראַטור פֿלוקטואַציע פֿון 1 °C, די זײַט לענג פֿון 1 מעטער גראַניט באַזע קען פּראָדוצירן 5-7 מיקראָנס פֿון לינעאַרער אויסברייטונג אָדער קאָנטראַקציע, וואָס איז גענוג צו מאַכן די טשיפּ ליטאָגראַפֿיע מוסטער דעוויאַציע, רעדוצירן די פּראָדוקציע. דעריבער, די פּרעציזיע סטאַטישע דרוק לופֿט פֿלאָוטינג פּלאַטפאָרמע אויסגעשטאַט מיט גראַניט פּרעציזיע באַזע, די ידעאַלע אַרבעטס סביבה טעמפּעראַטור זאָל זײַן שטרענג קאָנטראָלירט ביי 20 °C ±1 °C, ענטערפּריסעס קענען ינסטאַלירן הויך-פּרעציציע קאָנסטאַנט טעמפּעראַטור לופֿטקילונג סיסטעם, קאַנטיניואַסלי מאָניטאָר און גענוי סטרויערן די אַמביאַנט טעמפּעראַטור, האַלטן די גרייס פֿון דער גראַניט באַזע פעסטקייט, צו ענשור אַז די פּלאַטפאָרמע הויך-פּרעציציע אָפּעראַציע.
2. הומידיטי: גלייַך קאָנטראָל, באַשיצן די באַזע פאָרשטעלונג
הומידיטי האט אויך א באדייטנדיקע ווירקונג אויף פּרעציזיע גראַניט באַזעס. אין א הויך הומידיטי סביבה, איז גראַניט גרינג צו אַבזאָרבירן וואַסער פארע, און עס קען זיין קאָנדענסאַציע אויף דער ייבערפלאַך, וואָס וועט ניט נאָר שטערן די נאָרמאַל אָפּעראַציע פון ​​די לופט פלאָוטיישאַן סיסטעם, אָבער אויך פירן צו לאַנג-טערמין עראָוזיע פון ​​די גראַניט ייבערפלאַך, רעדוצירן זייַן אַקיעראַסי און דינסט לעבן. נעמען די אָפּטיש לינז גרינדינג וואָרקשאָפּ ווי אַ בייַשפּיל, אויב די הומידיטי איז העכער ווי 60%RH פֿאַר אַ לאַנג צייַט, די וואַסער פארע אַדסאָרבעד אויף די ייבערפלאַך פון די גראַניט באַזע וועט צעשטערן די יונאַפאָרמאַטי פון די לופט פלאָוט פילם, ריזאַלטינג אין אַ פאַרקלענערן אין די לינז גרינדינג אַקיעראַסי און ייבערפלאַך חסרונות. דעריבער, די רעלאַטיווע הומידיטי פון די אַרבעט סוויווע דאַרף צו זיין קאַנטראָולד צווישן 40%-60%RH. פירמעס קענען נוצן דעהומידיפיערס, הומידיטי סענסאָרס און אנדערע ויסריכט צו מאָניטאָר און קאָנטראָלירן די הומידיטי אין פאַקטיש צייט, שאַפֿן אַ פּאַסיק הומידיטי סביבה פֿאַר די פּרעציזיע גראַניט באַזע, און ענשור די סטאַביל אָפּעראַציע פון ​​די פּרעציזיע סטאַטיק דרוק לופט פלאָוטינג באַוועגונג פּלאַטפאָרמע.

3. ריינקייט: שטרענג קאָנטראָל, עלימינירן פּאַרטיקל ינטערפיראַנס
שטויב פּאַרטיקלען זענען דער "שונא" פון פּרעציזיע סטאַטישע דרוק לופט שוועבענדיק באַוועגונג פּלאַטפאָרמע, און טאָן גרויס שאָדן צו גראַניט פּרעציזיע באַזע. אַמאָל די קליינע פּאַרטיקלען אַרייַן די גאַז פילם שפּאַלט צווישן די גאַז שוועב גליטשער און די גראַניט באַזע, זיי קענען צעשטערן די יוניפאָרמאַטי פון די גאַז פילם, פאַרגרעסערן רייַבונג, און אפילו קראַצן די ייבערפלאַך פון די באַזע, ערנסט אַפעקטינג די אַקיעראַסי פון די פּלאַטפאָרמע באַוועגונג. אין די אַלטראַ-פּרעציזיע מאַשינינג וואַרשטאַט פון אַעראָספּייס טיילן, אויב די שטויב פּאַרטיקלען אין די לופט פאַלן אויף די גראַניט באַזע, די באַוועגונג טראַיעקטאָריע פון ​​די מאַשינינג געצייַג קען זיין דיוויידזשד, אַפעקטינג די מאַשינינג אַקיעראַסי פון די טיילן. דעריבער, די אַרבעט געגנט זאָל זיין געהאלטן העכסט ריין און דערגרייכן אַ ריינקייַט סטאַנדאַרט פון 10,000 אָדער אפילו העכער. פירמעס קענען פילטער אויס שטויב פּאַרטיקלען אין די לופט דורך ינסטאָלינג הויך עפעקטיווקייַט לופט פילטערס (HEPA), און פאָדערן שטעקן צו טראָגן שטויב-פֿרייַ קליידער, שוך קאַווערינגז, עטק., צו רעדוצירן די שטויב געבראכט דורך מענטשן, און טייַנען די הויך-פּרעציזיע אַפּערייטינג סוויווע פון ​​גראַניט באַזע און פּרעציזיע סטאַטיש דרוק לופט שוועבענדיק באַוועגונג פּלאַטפאָרמע.
4. וויבראַציע: עפעקטיווע איזאָלאַציע צו שאַפֿן אַ גלאַט פּלאַץ
עקסטערנע וויבראציע וועט ערנסט אריינמישן די פּינקטלעכקייט פון דער פּינקטלעכקייט סטאַטישער דרוק לופט שוועבענדיקער פּלאַטפאָרמע, כאָטש די פּינקטלעכקייט גראַניט באַזע האט אַ געוויסע וויבראציע אַטענואַציע קאַפּאַציטעט, אָבער די הויך שטאַרקייט וויבראציע קען נאָך ברעכן איר באַפער לימיט. די וויבראציע דזשענערייטאַד דורך די פאַרקער אַרום די פאַבריק און די אָפּעראַציע פון ​​גרויס מעכאַניש ויסריכט איז טראַנסמיטטעד צו די גראַניט באַזע דורך די ערד, וואָס וועט אריינמישן די פּינקטלעכקייט פון די פּלאַטפאָרמע באַוועגונג. אין הויך-סוף CMM, וויבראציע קען פאַרשאַפן די קאָנטאַקט צווישן די מעסטן פּראָבע און די ווערקפּיס צו זיין געמאסטן צו זיין סטאַביל, ריזאַלטינג אין דיווייישאַן פון די מעסטן דאַטן. כּדי צו סאָלווע דעם פּראָבלעם, איז עס נייטיק צו אַדאַפּט עפעקטיוו וויבראציע אפגעזונדערטקייט מיטלען, אַזאַ ווי לייגן וויבראציע אפגעזונדערטקייט פּאַדס אין די ויסריכט ינסטאַלירונג געגנט, בויען וויבראציע אפגעזונדערטקייט יסוד, אָדער ניצן אַקטיוו וויבראציע אפגעזונדערטקייט סיסטעם צו אַקטיוולי אָפסעט עקסטערנע וויבראציע, און שאַפֿן אַ שטיל און סטאַביל אַרבעט סוויווע פֿאַר די גראַניט פּינקטלעכקייט באַזע און פּינקטלעכקייט סטאַטיש דרוק לופט שוועבענדיק באַוועגונג פּלאַטפאָרמע.
טרעפן די אויבנדערמאנטע סביבה רעקווייערמענץ, כדי צו געבן פולע שפיל צו די מעלות פון גראַניט פּרעציזיע באַזע אין די פּרעציזיע סטאַטיש דרוק לופט פלאָוטינג באַוועגונג פּלאַטפאָרמע, צו ענשור אַז די פּלאַטפאָרמע גיט הויך-פּרעציזיע און הויך-סטאַביליטעט באַוועגונג קאָנטראָל באַדינונגען פֿאַר פאַרשידענע ינדאַסטריז. אויב פירמעס קענען באַצאָלן ופמערקזאַמקייט צו די דעטאַילס אין די פּראָדוקציע סביבה, וועלן זיי כאַפּן די געלעגנהייט אין פּרעציזיע מאַנופאַקטורינג, וויסנשאפטלעכע פאָרשונג און אנדערע פעלדער, פֿאַרבעסערן זייער קאַמפּעטיטיוונאַס, און דערגרייכן סאַסטיינאַבאַל אַנטוויקלונג.