גראַניט קאָמפּאָנענטן זענען ברייט געניצט געוואָרן אין דעם האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע פּראָצעס צוליב זייערע אויסגעצייכנטע כאַראַקטעריסטיקס ווי העכערע ייבערפלאַך ענדיקונג, הויכע שטייפקייט, און אויסגעצייכנטע ווייבריישאַן דאַמפּינג. גראַניט קאָמפּאָנענטן זענען וויכטיק פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע ויסריכט, אַרייַנגערעכנט ליטאָגראַפֿיע מאַשינען, פּאָלירינג מאַשינען, און מעטראָלאָגיע סיסטעמען, ווייל זיי צושטעלן פּינקטלעכע פּאַזישאַנינג און פעסטקייט בעת דעם פאַבריקאַציע פּראָצעס. טראָץ אַלע די אַדוואַנטאַגעס פון ניצן גראַניט קאָמפּאָנענטן, האָבן זיי אויך חסרונות. אין דעם אַרטיקל וועלן מיר דיסקוטירן די חסרונות פון גראַניט קאָמפּאָנענטן פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע פּראָצעס פּראָדוקטן.
ערשטנס, גראַניט קאָמפּאָנענטן האָבן אַ הויך טערמישע יקספּאַנשאַן קאָעפיציענט. דאָס מיינט אַז זיי יקספּאַנדירן באַדייטנד אונטער טערמישן דרוק, וואָס קען פאַרשאַפן פּראָבלעמען בעת דעם פאַבריקאַציע פּראָצעס. דער האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע פּראָצעס ריקווייערז הויך פּינטלעכקייט און דימענסיאָנעל אַקיעראַסי וואָס קען זיין קאָמפּראָמיטירט רעכט צו טערמישן דרוק. למשל, סיליקאָן וועיפער דעפאָרמאַציע רעכט צו טערמישער יקספּאַנשאַן קען פאַרשאַפן אַליינמאַנט פּראָבלעמען בעת ליטאָגראַפֿיע, וואָס קען קאָמפּראָמיטירן די קוואַליטעט פון די האַלב-קאָנדוקטאָר מיטל.
צווייטנס, גראַניט קאָמפּאָנענטן האָבן פּאָראָזיטעט חסרונות וואָס קענען פאַראורזאַכן וואַקוום ליקס אין דעם האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע פּראָצעס. די בייַזייַן פון לופט אָדער קיין אנדערע גאַז אין די סיסטעם קען פאַראורזאַכן קאַנטאַמאַניישאַן אויף די ווייפער ס ייבערפלאַך, ריזאַלטינג אין חסרונות וואָס קענען ווירקן די האַלב-קאָנדוקטאָר מיטל ס פאָרשטעלונג. ינערט גאַזן אַזאַ ווי אַרגאָן און העליום קענען זיפּן אין פּאָראָז גראַניט קאָמפּאָנענטן און שאַפֿן גאַז בלאָזן וואָס קענען ינטערפירירן די אָרנטלעכקייט פון די וואַקוום פּראָצעס.
דריטנס, גראַניט קאָמפּאָנענטן האָבן מיקראָפֿראַקטשערז וואָס קענען אַריינמישן זיך מיט דער פּרעציזיע פֿונעם פּראָדוקציע פּראָצעס. גראַניט איז אַ שוואַכע מאַטעריאַל וואָס קען אַנטוויקלען מיקראָפֿראַקטשערז מיט דער צייט, ספּעציעל ווען עס איז אויסגעשטעלט צו קאָנסטאַנטע דרוק ציקלען. די בייַזייַן פֿון מיקראָפֿראַקטשערז קען פֿירן צו דימענסיאָנעלער אינסטאַביליטעט, וואָס קען פֿאַראורזאַכן באַדייטנדיקע פּראָבלעמען בעת דעם פּראָדוקציע פּראָצעס, ווי למשל ליטאָגראַפֿיע אויסריכטונג אָדער וועיפֿער פּאָלישינג.
פערטנס, גראַניט קאָמפּאָנענטן האָבן באַגרענעצטע בייגיקייט. דער האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע פּראָצעס ריקווייערז בייגיקע עקוויפּמענט וואָס קען אַקאַמאַדירן פאַרשידענע פּראָצעס ענדערונגען. אָבער, גראַניט קאָמפּאָנענטן זענען שטרענג און קענען זיך נישט אַדאַפּטירן צו פאַרשידענע פּראָצעס ענדערונגען. דעריבער, יעדע ענדערונג אין דעם פאַבריקאַציע פּראָצעס נייטיקט די באַזייַטיקונג אָדער פאַרבייַט פון די גראַניט קאָמפּאָנענטן, וואָס פירט צו דאַונטיים און אַפעקטירט פּראָדוקטיוויטי.
פינפטנס, גראַניט קאָמפּאָנענטן דאַרפן ספּעציעלע האַנדלינג און טראַנספּאָרטאַציע צוליב זייער וואָג און צעברעכלעכקייט. גראַניט איז אַ געדיכט און שווער מאַטעריאַל וואָס ריקווייערז ספּעציאַליזירטע האַנדלינג ויסריכט ווי קראַנען און ליפטערס. דערצו, גראַניט קאָמפּאָנענטן דאַרפן אָפּגעהיט פּאַקינג און טראַנספּאָרטאַציע צו פאַרמייַדן שעדיקן בעשאַס טראַנספּאָרט, וואָס פירט צו נאָך קאָסטן און צייט.
אין מסקנא, גראַניט קאָמפּאָנענטן האָבן עטלעכע חסרונות וואָס קענען אַפעקטירן די קוואַליטעט און פּראָדוקטיוויטי פון די האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע פּראָצעס פּראָדוקטן. די חסרונות קענען זיין מינימיזירט דורך אָפּגעהיט האַנדלינג און וישאַלט פון גראַניט קאָמפּאָנענטן, אַרייַנגערעכנט פּעריאָדיש דורכקוק פֿאַר מיקראָפראַקטשורז און פּאָראָסיטי חסרונות, געהעריק רייניקונג צו פאַרמייַדן קאַנטאַמאַניישאַן, און אָפּגעהיט האַנדלינג בעשאַס טראַנספּאָרטאַציע. טראָץ די חסרונות, גראַניט קאָמפּאָנענטן בלייבן אַ וויכטיק טייל פון די האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע פּראָצעס רעכט צו זייער העכער ייבערפלאַך ענדיקן, הויך סטיפנאַס, און ויסגעצייכנט ווייבריישאַן דאַמפּינג.
פּאָסט צייט: דעצעמבער-05-2023