אין וועלכע פעלדער קען מען אנווענדן גראַניט פּרעציזיע פּלאַטפאָרמעס?

גראַניט פּרעציזיע פּלאַטפאָרמעס, מיט זייער הויך שטייפקייט, נידעריק יקספּאַנשאַן קאָעפיציענט, ויסגעצייכנט דאַמפּינג פאָרשטעלונג און נאַטירלעך אַנטי-מאַגנעטישע פּראָפּערטיעס, האָבן אַן אַנערזייַטאַבאַל אַפּלאַקיישאַן ווערט אין הויך-סוף מאַנופאַקטורינג און וויסנשאַפטלעך פאָרשונג פעלדער וווּ פּרעציזיע און פעסטקייַט זענען העכסט פארלאנגט. די פאלגענדע זענען זייַן הויפּט אַפּלאַקיישאַן סצענאַריאָוז און טעכניש אַדוואַנידזשיז:
I. פעלד פון אולטרא-פּרעציציע פּראַסעסינג עקוויפּמענט
האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע עקוויפּמענט
אַפּליקאַציע סצענאַרן: ליטאָגראַפֿיע מאַשין וואָרקפּיעסע טיש, וואַפֿער דייסינג מאַשין באַזע, פּאַקקאַגינג עקוויפּמענט פּאַזישאַנינג פּלאַטפאָרמע.
טעכנישער ווערט:
דער קאָעפֿיציענט פֿון טערמישער אויסברייטונג פֿון גראַניט איז בלויז (0.5-1.0) ×10⁻⁶/℃, וואָס קען זיך קעגנשטעלן די טעמפּעראַטור־פֿלוקטואַציע בעת דער נאַנאָסקאַלע־עקספּאָזיציע פֿון דער ליטאָגראַפֿיע־מאַשין (דיספּלייסמענט־פֿעלער < 0.1 נאַנאָמעטער אין אַן סביבה פֿון ±0.1 ℃).
די אינערלעכע מיקראָ-פּאָרע סטרוקטור פאָרמירט אַ נאַטירלעכע דאַמפּינג (דאַמפּינג פאַרהעלטעניש 0.05 צו 0.1), סאַפּרעסינג די ווייבריישאַן (אַמפּליטוד < 2μm) בעשאַס הויך-גיכקייַט שנייַדן דורך די דייסינג מאַשין און ענשורינג אַז די ברעג ראַפנאַס Ra פון די וועיפער שנייַדן איז ווייניקער ווי 1μm.

2. פּרעציזיע גרינדינג מאשינען און קאָאָרדינאַט מעסטן מאשינען (CMM)
אַפּליקאַציע פאַל:
די באַזע פון ​​דער דריי-קאָאָרדינאַט מעסטונג מאַשין נעמט אָן אַן אינטעגראַלע גראַניט סטרוקטור, מיט אַ פלאַכקייט פון ±0.5μm/m. צוזאַמען מיט דער לופט-שוועבנדיקער פירער רעלס, דערגרייכט עס נאַנאָ-לעוועל באַוועגונג אַקיעראַסי (ריפּיט פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי ±0.1μm).
דער ארבעטס-טיש פון דער אפטישער שלייפן-מאשין נעמט אן א קאמפאזיט-סטרוקטור פון גראניט און זילבערנער שטאל. ביים שלייפן K9 גלאז, איז די אויבערפלאך-כוואליע ווייניגער ווי λ/20 (λ=632.8nm), וואס דערפילט די אולטרא-גלאטע באארבעטונגס-באדינגונגען פון לאזער-לענסעס.
II. פעלד פון אָפּטיק און פאָטאָניק
אַסטראָנאָמישע טעלעסקאָפּן און לאַזער סיסטעמען
טיפּישע אַפּליקאַציעס:
די שטיצ־פּלאַטפאָרמע פון ​​דער רעפלעקציע־איבערפלאַך פון דעם גרויסן ראַדיאָ־טעלעסקאָפּ נעמט אָן אַ גראַניט־האָניקאָמב־סטרוקטור, וואָס איז לייכט אין זיך־וואָג (דענסיטי 2.7 ג/קמ³) און האט אַ שטאַרקע ווינט־ווייבראַציע־קעגנשטעל (דעפאָרמאַציע < 50μm אונטער אַ 10־לעוועל ווינט).
די אָפּטישע פּלאַטפאָרמע פֿון דעם לאַזער אינטערפֿעראָמעטער ניצט מיקראָ-פּאָרעזן גראַניט. דער רעפֿלעקטאָר ווערט פֿיקסירט דורך וואַקוום אַדסאָרפּציע, מיט אַ פֿלאַכקייט פֿעלער פֿון ווייניקער ווי 5 נאַנאָמעטער, וואָס זיכערט די סטאַביליטעט פֿון אולטראַ-פּרעציציע אָפּטישע עקספּערימענטן ווי למשל גראַוויטאַציאָנעלע כוואַליע דעטעקציע.
2. פּרעציזיע אָפּטיש קאָמפּאָנענט פּראַסעסינג
טעכנישע מעלות:
די מאַגנעטישע דורכדרינגלעכקייט און עלעקטרישע קאַנדאַקטיוויטי פון דער גראַניט פּלאַטפאָרמע זענען נאָענט צו נול, וואָס פֿאַרמיידט דעם השפּעה פֿון עלעקטראָמאַגנעטישע ינטערפיראַנס אויף פּרעציזיע פּראָצעסן ווי יאָן שטראַל פּאָלישינג (IBF) און מאַגנעטאָרהעאָלאָגישע פּאָלישינג (MRF). די ייבערפלאַך פֿאָרעם אַקיעראַסי PV ווערט פֿון דער פּראַסעסט אַספֿישער לינז קען דערגרייכן λ/100.
III. לופטפארט און פּרעציזיע דורכקוק
אַוויאַציע קאָמפּאָנענט דורכקוק פּלאַטפאָרמע
אַפּליקאַציע סצענאַרן: דריי-דימענסיאָנאַלע דורכקוק פון ערקראַפט בליידז, מעזשערמאַנט פון פאָרעם און שטעלע טאָלעראַנסעס פון אַוויאַציע אַלומינום צומיש סטראַקטשעראַל קאַמפּאָונאַנץ.
שליסל פאָרשטעלונג:
די ייבערפלאַך פון דער גראַניט פּלאַטפאָרמע ווערט באַהאַנדלט דורך עלעקטראָליטישע קעראָוזשאַן צו פֿאָרמען פֿײַנע מוסטערן (מיט אַ ראַפנאַס פון ראַ 0.4-0.8μm), פּאַסיק פֿאַר הויך-פּינטלעכקייט טריגער פּראָובז, און דער טעות פון דעטעקטירן דעם בלייד פּראָפיל איז ווייניקער ווי 5μm.
עס קען אויסהאלטן א לאסט פון איבער 200 קילא פון אוויאציע קאמפאנענטן, און די פלאכקייט ענדערונג נאך לאנג-טערמין באנוץ איז ווייניגער ווי 2μm/m, וואס באגעגנט די פּינקטלעכקייט וישאַלט רעקווייערמענץ פון גראַד 10 אין דער אַעראָספּייס אינדוסטריע.

2. קאליבראציע פון ​​אינערציעלע נאַוויגאַציע קאָמפּאָנענטן
טעכנישע באדערפענישן: סטאַטישע קאַליבראַציע פון ​​אינערציעלע דעוויסעס ווי גיראָסקאָופּס און אַקסעלעראָמעטערס ריקווייערז אַן אולטראַ-סטאַביל רעפערענץ פּלאַטפאָרמע.
לייזונג: די גראַניט פּלאַטפאָרמע איז קאַמביינד מיט אַן אַקטיוו ווייבריישאַן איזאָלאַציע סיסטעם (נאַטירלעכע אָפטקייט < 1 הערץ), דערגרייכנדיק הויך-פּינקטלעכקייט קאַליבראַציע פון ​​​​די נול-אָפסעט סטאַביליטעט פון ינערשאַל קאַמפּאָונאַנץ < 0.01°/h אין אַ סביבה מיט ווייבריישאַן אַקסעלעריישאַן < 1×10⁻⁴g.
IV. נאַנאָטעכנאָלאָגיע און ביאָמעדיצין
סקאַנינג פּראָבע מיקראָסקאָפּ (SPM) פּלאַטפאָרמע
קערן פונקציע: אלס די באזע פאר אטאמישע קראפט מיקראסקאפיע (AFM) און סקענירונג טונעלינג מיקראסקאפיע (STM), דארף עס זיין אפגעזונדערט פון סביבה'דיגע ווייבראציעס און טערמישע דריפט.
פאָרשטעלונג אינדיקאַטאָרן:
די גראַניט פּלאַטפאָרמע, אין קאָמבינאַציע מיט פּנעוומאַטישע ווייבריישאַן איזאָלאַציע לעגס, קען רעדוצירן די טראַנסמיסיע קורס פון פונדרויסנדיקע ווייבריישאַנז (1-100 הערץ) צו ווייניקער ווי 5%, דערגרייכנדיק אַטאָמישע-לעוועל בילדער פון AFM אין דער אַטמאָספערישער סביבה (רעזאָלוציע < 0.1 נאַנאָמעטער).
די טעמפּעראַטור סענסיטיוויטי איז ווייניקער ווי 0.05μm/℃, וואָס טרעפט די באדערפענישן פֿאַר נאַנאָסקאַלע אָבסערוואַציע פון ​​ביאָלאָגישע סאַמפּאַלז אין אַ קאָנסטאַנט טעמפּעראַטור (37℃±0.1℃) סביבה.
2. ביאָטשיפּ פּאַקקאַגינג עקוויפּמענט
אַפּליקאַציע פאַל: די הויך-פּינטלעכקייט אַליינמאַנט פּלאַטפאָרמע פֿאַר דנאַ סיקוואַנסינג טשיפּס אַדאַפּט גראַניט לופט-שוועבנדיק גייד רעלס, מיט אַ פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי פון ±0.5μm, וואָס ינשורז סוב-מיקראָן באַנדינג צווישן די מיקראָפלוידיק קאַנאַל און די דעטעקשאַן עלעקטראָוד.
V. אויפקומענדיקע אַפּליקאַציע סצענאַרן
קוואַנטום קאָמפּיוטינג עקוויפּמענט באַזע
טעכנישע שוועריקייטן: קיוביט מאַניפּולאַציע ריקווייערז גאָר נידעריקע טעמפּעראַטורן (mK לעוועל) און אַן אולטראַ-סטאַבילע מעכאַנישע סביבה.
לייזונג: די גאָר נידעריקע טערמישע יקספּאַנשאַן אייגנשאַפט פון גראַניט (יקספּאַנשאַן קורס < 1 ppm פון -200 ℃ ביז צימער טעמפּעראַטור) קען גלייַכן די קאָנטראַקשאַן קעראַקטעריסטיקס פון גאָר נידעריק טעמפּעראַטור סופּערקאַנדאַקטינג מאַגנעטן, וואָס ענשורז די אַליינמאַנט אַקיעראַסי בעשאַס די פּאַקקאַגינג פון קוואַנטום טשיפּס.
2. עלעקטראָן שטראַל ליטאָגראַפֿיע (EBL) סיסטעם
שליסל פאָרשטעלונג: די איזאָלאַציע אייגנשאַפט פון דער גראַניט פּלאַטפאָרמע (קעגנשטעל > 10¹³Ω · מ) פאַרהיט עלעקטראָן שטראַל צעשפּרייטונג. צוזאַמען מיט דעם עלעקטראָסטאַטישן שפּינדל דרייוו, דערגרייכט עס הויך-פּינקטלעכקייט ליטאָגראַפֿיע מוסטער שרייבן מיט אַ נאַנאָסקאַלע ליניע ברייט (< 10 נם).
קיצור
די אנווענדונג פון גראַניט פּרעציזיע פּלאַטפאָרמעס האָט זיך אויסגעברייטערט פון טראַדיציאָנעלע פּרעציזיע מאַשינערי צו שניידנדיקע פעלדער ווי נאַנאָטעכנאָלאָגיע, קוואַנטום פיזיק און ביאָמעדיצין. איר קערן קאָנקורענץ ליגט אין דער טיפער פֿאַרבינדונג פון מאַטעריאַל אייגנשאַפֿטן און אינזשעניריע רעקווייערמענץ. אין דער צוקונפֿט, מיט דער אינטעגראַציע פון ​​קאָמפּאָזיט פֿאַרשטאַרקונג טעכנאָלאָגיעס (ווי גראַפֿען-גראַניט נאַנאָקאָמפּאָסיטעס) און אינטעליגענטע סענסינג טעכנאָלאָגיעס, וועלן גראַניט פּלאַטפאָרמעס דורכברעכן אין די ריכטונגען פון אַטאָמישער-לעוועל אַקיעראַסי, פול-טעמפּעראַטור קייט סטאַביליטעט און מולטי-פאַנגקשאַנאַל אינטעגראַציע, און ווערן די קערן גרונט קאָמפּאָנענטן וואָס שטיצן די קומענדיקע דור פון אולטראַ-פּרעציזיע מאַנופאַקטורינג.