ווי אזוי קען מען דורכקוקן די גענויקייט פון א גראניט פּרעציזיע פּלאַטפאָרמע? זיכער מאַכן צי די גענויקייט איז נאָרמאַל?

אין פעלדער ווי האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע און פּרעציזיע מעסטונג אינסטרומענטן, די אַקיעראַסי פון גראַניט פּרעציזיע פּלאַטפאָרמעס באַשטימט גלייך די אָפּעראַציאָנעלע קוואַליטעט פון די ויסריכט. כּדי צו זיכער מאַכן אַז די פּלאַטפאָרמע ס אַקיעראַסי טרעפט די סטאַנדאַרדן, זאָל מען מאַכן השתדלות פון צוויי אַספּעקטן: די דעטעקציע פון ​​שליסל אינדיקאַטאָרן און העסקעם מיט סטאַנדאַרד נאָרמען.

קערן אינדיקאַטאָר דעטעקציע: מולטי-דימענסיאָנעל קאָנטראָל פון אַקיעראַסי
פלאַכקייט דעטעקציע: באַשטימען די "פלאַכקייט" פון דער רעפערענץ פלאַך
פלאַכקייט איז דער קערן אינדיקאַטאָר פון גראַניט פּרעציזיע פּלאַטפאָרמעס, און עס ווערט געוויינטלעך געמאָסטן דורך לאַזער ינטערפעראָמעטערס אָדער עלעקטראָנישע לעוועלס. דער לאַזער ינטערפעראָמעטער קען פּינקטלעך מעסטן די מינוט כוואַליעס אויף דער פּלאַטפאָרמע ייבערפלאַך דורך אויסשטראַלן אַ לאַזער שטראַל און נוצן דעם פּרינציפּ פון ליכט ינטערפיראַנס, מיט אַ אַקיעראַסי וואָס דערגרייכט דעם סוב-מיקראָן לעוועל. דער עלעקטראָנישער לעוועל מעסט דורך זיך באַוועגן קייפל מאָל און צייכנט אַ דריי-דימענסיאָנאַלע קאָנטור מאַפּע פון ​​דער פּלאַטפאָרמע ייבערפלאַך צו דעטעקטירן צי עס זענען קיין לאָקאַלע פּראָטרושאַנז אָדער דעפּרעסיעס. למשל, די גראַניט פּלאַטפאָרמעס געניצט אין האַלב-קאָנדוקטאָר פאָטאָליטאָגראַפי מאַשינען זענען פארלאנגט צו האָבן אַ פלאַכקייט פון ±0.5μm/m, טייַטש אַז דער הייך חילוק אין אַ 1-מעטער לענג זאָל נישט יקסיד אַ האַלב אַ מיקראָמעטער. בלויז דורך הויך-פּרעציזיע דעטעקשאַן ויסריכט קען דעם שטרענגן סטאַנדאַרט זיין געראַנטיד.
2. גלייכקייט דעטעקציע: זיכער מאכן די "גלייכקייט" פון לינעארער באוועגונג
פֿאַר פּלאַטפאָרמעס וואָס טראָגן פּרעציזיע באַוועגלעכע טיילן, איז גלייכקייט פֿון וויכטיקער וויכטיקייט. די געוויינטלעכע מעטאָדן פֿאַר דעטעקציע זענען די דראָט מעטאָדע אָדער דער לאַזער קאָלימאַטאָר. די דראָט מעטאָדע באַשטייט פֿון אויפֿהענגען הויך-פּרעציזיע שטאָל דראָטן און פֿאַרגלייכן דעם שפּאַלט צווישן דער פּלאַטפאָרמע ייבערפלאַך און די שטאָל דראָטן צו באַשטימען די גלייכקייט. דער לאַזער קאָלימאַטאָר ניצט די לינעאַרע פֿאַרשפּרייטונג קעראַקטעריסטיקס פֿון לאַזער צו דעטעקטירן דעם לינעאַרן טעות פֿון דער ינסטאַלירונג ייבערפלאַך פֿון דער פּלאַטפאָרמע גייד רעלס. אויב די גלייכקייט טרעפֿט נישט דעם סטאַנדאַרט, וועט עס פֿאַראורזאַכן די עקוויפּמענט צו זיך פֿאַררוקן בעת ​​באַוועגונג, וואָס וועט אַפֿעקטירן די פּראַסעסינג אָדער מעסטונג אַקיעראַסי.
3. ייבערפלאַך ראַפנאַס דעטעקציע: ענשור די "פייננאַס" פון קאָנטאַקט
די ייבערפלאַך ראַפנאַס פון דער פּלאַטפאָרמע אַפעקטירט די פּאַסיקייט פון קאָמפּאָנענט ינסטאַלירונג. בכלל, אַ סטיילוס ראַפנאַס מעטער אָדער אַן אָפּטישער מיקראָסקאָפּ ווערט גענוצט פֿאַר דעטעקציע. דער סטיילוס טיפּ אינסטרומענט רעקאָרדירט ​​די הייך ענדערונגען פון די מיקראָסקאָפּישע פּראָפיל דורך קאָנטאַקט די פּלאַטפאָרמע ייבערפלאַך מיט אַ דין פּראָבע. אָפּטישע מיקראָסקאָפּן קענען גלייך אָבסערווירן די ייבערפלאַך טעקסטור. אין הויך-פּינקטלעכקייט אַפּלאַקיישאַנז, די ייבערפלאַך ראַפנאַס פון גראַניט פּלאַטפאָרמעס דאַרף זיין קאַנטראָולד ביי Ra≤0.05μm, וואָס איז עקוויוואַלענט צו אַ שפּיגל-ווי ווירקונג, ענשורינג אַז פּינקטלעכקייט קאָמפּאָנענטן פּאַסיק ענג בעשאַס ינסטאַלירונג און ויסמיידן ווייבריישאַן אָדער דיספּלייסמאַנט געפֿירט דורך גאַפּס.
די פּינקטלעכקייט סטאַנדאַרדן פֿאָלגן: אינטערנאַציאָנאַלע נאָרמען און אינערלעכע קאָנטראָל פֿון דער אונטערנעמונג
איצט, אינטערנאציאנאל, ווערן ISO 25178 און GB/T 24632 סטאַנדאַרדן אָפט גענוצט ווי די באַזע פֿאַר באַשטימען די אַקיעראַסי פון גראַניט פּלאַטפאָרמעס, און עס זענען קלאָרע קלאַסיפֿיקאַציעס פֿאַר אינדיקאַטאָרן ווי פלאַכקייט און גלייכקייט. אין דערצו, הויך-ענד מאַנופאַקטורינג פירמעס שטעלן אָפט מער שטרענגע אינערלעכע קאָנטראָל סטאַנדאַרדן. למשל, די פלאַכקייט פאָדערונג פֿאַר די גראַניט פּלאַטפאָרמע פון ​​​​די פאָטאָליטאָגראַפי מאַשין איז 30% העכער ווי די אינטערנאַציאָנאַלע סטאַנדאַרט. ווען מען דורכפירט טעסץ, זאָל מען פאַרגלייכן די געמאסטענע דאַטן מיט די קאָרעספּאָנדירנדיק סטאַנדאַרדן. נאָר פּלאַטפאָרמעס וואָס זענען גאָר אין לויט מיט די סטאַנדאַרדן קענען ענשור סטאַביל פאָרשטעלונג אין פּרעציזיע ויסריכט.
דורכקוקן די גענויקייט פון גראַניט פּרעציזיע פּלאַטפאָרמעס איז אַ סיסטעמאַטיש פּראָיעקט. נאָר דורך שטרענג טעסטן קערן אינדיקאַטאָרן ווי פלאַכקייט, גלייכקייט און ייבערפלאַך ראַפקייט, און זיך האַלטן צו אינטערנאַציאָנאַלע און ענטערפּרייז סטאַנדאַרדן, קען די הויך פּרעציזיע און פאַרלאָזלעכקייט פון דער פּלאַטפאָרמע זיין געראַנטיד, לייגן אַ שטאַרקע יסוד פֿאַר הויך-סוף מאַנופאַקטורינג פעלדער ווי האַלב-קאָנדוקטאָרן און פּרעציזיע ינסטראַמאַנץ.