פֿון עלעקטראָמאַגנעטישע אינטערפֿערענץ ביז וואַקוום קאָמפּאַטאַביליטי: די אומפֿאַרבײַטלעכקייט פֿון גראַניט באַזעס אין ליטאָגראַפֿיע מאַשינען.

​
אין דעם פעלד פון האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע, ווי די קערן עקוויפּמענט וואָס באַשטימט די פּינקטלעכקייט פון דעם טשיפּ פאַבריקאַציע פּראָצעס, איז די פעסטקייט פון דער אינערלעכער סביבה פון דער פאָטאָליטאָגראַפי מאַשין פון וויכטיקער וויכטיקייט. פון דער אויפרעגונג פון דער עקסטרעמער אַלטראַוויאָלעט ליכט מקור ביז דער אָפּעראַציע פון ​​דער נאַנאָסקאַלע פּינקטלעכקייט באַוועגונג פּלאַטפאָרמע, קען נישט זיין קיין קלענסטע אָפּנייגונג אין יעדן לינק. גראַניט באַזעס, מיט אַ סעריע פון ​​יינציקע אייגנשאַפטן, ווייַזן אומגעגלייַכלעכע אַדוואַנטאַגעס אין ענשורינג די סטאַביל אָפּעראַציע פון ​​פאָטאָליטאָגראַפי מאַשינען און פֿאַרבעסערן פאָטאָליטאָגראַפי פּינקטלעכקייט.
אויסגעצייכנטע עלעקטראָמאַגנעטישע שילדינג פאָרשטעלונג
דער אינעווייניק פון אַ פאָטאָליטאָגראַפי מאַשין איז אָנגעפילט מיט אַ קאָמפּלעקסער עלעקטראָמאַגנעטישער סביבה. עלעקטראָמאַגנעטישע ינטערפיראַנס (EMI) דזשענערירט דורך קאָמפּאָנענטן ווי עקסטרעמע אַלטראַווייאַליט ליכט קוואלן, דרייוו מאָטאָרן און הויך-פרעקווענץ מאַכט סאַפּלייז, אויב נישט עפעקטיוו קאַנטראָולד, וועט ערנסט אַפעקטירן די פאָרשטעלונג פון פּינקטלעכע עלעקטראָנישע קאָמפּאָנענטן און אָפּטישע סיסטעמען אין די ויסריכט. למשל, ינטערפיראַנס קען פאַרשאַפן קליינע דיווייישאַנז אין די פאָטאָליטאָגראַפי פּאַטערנז. אין אַוואַנסירטע מאַנופאַקטורינג פּראָצעסן, איז דאָס גענוג צו פירן צו פאַלשע טראַנזיסטאָר קאַנעקשאַנז אויף די טשיפּ, וואָס באַדייטנד ראַדוסאַז די טשיפּ פּראָדוקציע.
גראַניט איז אַ נישט-מעטאַלישע מאַטעריאַל און פירט נישט קיין עלעקטריע אַליין. עס איז נישטאָ קיין עלעקטראָמאַגנעטישע אינדוקציע דערשיינונג געפֿירט דורך דער באַוועגונג פֿון פֿרײַע עלעקטראָנען אינעווייניק ווי אין מעטאַלישע מאַטעריאַלן. די אייגנשאַפֿט מאַכט עס אַ נאַטירלעכן עלעקטראָמאַגנעטישן שילדקערפּער, וואָס קען עפֿעקטיוו בלאָקירן דעם טראַנסמיסיע וועג פֿון אינערלעכער עלעקטראָמאַגנעטישער שטערונג. ווען דאָס אָלטערנירנדיקע מאַגנעטישע פֿעלד גענערירט דורך דער עקסטערנער עלעקטראָמאַגנעטישער שטערונג מקור פֿאַרשפּרייט זיך צו דער גראַניט באַזע, ווײַל דער גראַניט איז נישט-מאַגנעטיש און קען נישט מאַגנעטיזירט ווערן, איז שווער דורכצודרינגען דאָס אָלטערנירנדיקע מאַגנעטישע פֿעלד, דערמיט באַשיצנדיק די קערן קאָמפּאָנענטן פֿון דער פֿאָטאָליטהאָגראַפֿיע מאַשין אינסטאַלירט אויף דער באַזע, ווי פּרעציזיע סענסאָרן און אָפּטישע לינז אַדזשאַסטמענט דעוויסעס, פֿון דער השפּעה פֿון עלעקטראָמאַגנעטישע שטערונג און זיכער מאַכן די אַקיעראַסי פֿון מוסטער טראַנספֿער בעת דעם פֿאָטאָליטהאָגראַפֿיע פּראָצעס.

אויסגעצייכנטע וואַקוום קאָמפּאַטאַביליטי
ווייל עקסטרעם אולטראוויאלעט ליכט (EUV) ווערט לייכט אַבזאָרבירט דורך אַלע סאַבסטאַנצן, אַרייַנגערעכנט לופט, מוזן EUV ליטאָגראַפֿיע מאַשינען אַרבעטן אין אַ וואַקוום סביבה. אין דעם פונקט ווערט די קאָמפּאַטאַביליטי פון די ויסריכט קאָמפּאָנענטן מיט דער וואַקוום סביבה באַזונדער קריטיש. אין אַ וואַקוום קענען מאַטעריאַלן זיך צעלאָזן, דעסאָרבירן און באַפֿרײַען גאַז. דער באַפֿרײַטער גאַז אַבזאָרבירט ניט נאָר EUV ליכט, וואָס רעדוצירט די אינטענסיטעט און טראַנסמיסיע עפֿעקטיווקייט פֿון ליכט, נאָר קען אויך קאָנטאַמינירן אָפּטישע לענסעס. למשל, וואַסער פארע קען אָקסידירן די לענסעס, און כיידראָקאַרבאָנס קענען אַוועקלייגן קאַרבאָן שיכטן אויף די לענסעס, וואָס ערנסט אַפֿעקטירט די קוואַליטעט פֿון ליטאָגראַפֿיע.
גראַניט האט סטאַבילע כעמישע אייגנשאַפטן און גיט קוים ארויס גאַז אין אַ וואַקוום סביבה. לויט פּראָפעסיאָנעלע טעסטינג, אין אַ סימולירטער פאָטאָליטאָגראַפי מאַשין וואַקוום סביבה (אַזאַ ווי די אולטראַ-ריינע וואַקוום סביבה אין וועלכער די באַלויכטונג אָפּטישע סיסטעם און בילדגעבונג אָפּטישע סיסטעם אין דער הויפּט קאַמער געפֿינען זיך, וואָס דאַרף H₂O < 10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa), איז די אַרויסגאַזינג קורס פון דער גראַניט באַזע גאָר נידעריק, פיל נידעריקער ווי די פון אַנדערע מאַטעריאַלן ווי מעטאַלן. דאָס ערמעגליכט דעם אינעווייניק פון דער פאָטאָליטאָגראַפי מאַשין צו האַלטן אַ הויך וואַקוום גראַד און ריינקייט פֿאַר אַ לאַנגע צייט, וואָס זיכערט די הויך טראַנסמיטאַנס פון EUV ליכט בעת טראַנסמיסיע און אַן אולטראַ-ריינע נוצן סביבה פֿאַר אָפּטישע לענסעס, פֿאַרלענגערט די לעבן פון דער אָפּטישער סיסטעם, און פֿאַרבעסערט די קוילעלדיקע פאָרשטעלונג פון דער פאָטאָליטאָגראַפי מאַשין.
שטאַרקע ווייבריישאַן קעגנשטעל און טערמישע פעסטקייט
בעת דעם פאָטאָליטאָגראַפי פּראָצעס, פארלאנגט די פּינקטלעכקייט אויפן נאַנאָמעטער לעוועל אַז די פאָטאָליטאָגראַפי מאַשין זאָל נישט האָבן די קלענסטע ווייבריישאַן אָדער טערמישע דעפאָרמאַציע. סביבה ווייבריישאַנז דזשענערייטאַד דורך די אָפּעראַציע פון ​​אַנדערע ויסריכט און פּערסאָנעל באַוועגונג אין דער וואַרשטאַט, ווי אויך די היץ פּראָדוצירט דורך די פאָטאָליטאָגראַפי מאַשין זיך בעת אָפּעראַציע, קען אַלע אַריינמישן זיך מיט די פאָטאָליטאָגראַפי פּינקטלעכקייט. גראַניט האט אַ הויך געדיכטקייט און אַ שווערע טעקסטור, און עס האט ויסגעצייכנט ווייבריישאַן קעגנשטעל. זיין ינערלעך מינעראַל קריסטאַל סטרוקטור איז קאָמפּאַקט, וואָס קען עפעקטיוולי אַטענוירן ווייבריישאַן ענערגיע און געשווינד אונטערדריקן ווייבריישאַן פאַרשפּרייטונג. עקספּערימענטאַל דאַטן ווייַזן אַז אונטער דער זעלביקער ווייבריישאַן מקור, קען די גראַניט באַזע רעדוצירן די ווייבריישאַן אַמפּליטוד מיט מער ווי 90% אין 0.5 סעקונדעס. קאַמפּערד מיט די מעטאַל באַזע, קען עס צוריקשטעלן די ויסריכט צו פעסטקייט מער שנעל, ענשורינג די פּינקטלעך רעלאַטיוו שטעלע צווישן די פאָטאָליטאָגראַפי לינז און די וועיפער, און אַוווידינג מוסטער בלערינג אָדער מיסאַליינמאַנט געפֿירט דורך ווייבריישאַן.
דערווייל, איז דער קאעפיציענט פון טערמישער אויסברייטונג פון גראַניט גאָר נידעריק, בערך (4-8) ×10⁻⁶/℃, וואָס איז פיל נידעריקער ווי יענע פון ​​מעטאַלישע מאַטעריאַלן. בעת דער אָפּעראַציע פון ​​דער פאָטאָליטאָגראַפי מאַשין, אפילו אויב די אינעווייניקסטע טעמפּעראַטור פלוקטוירט צוליב פאַקטאָרן ווי היץ דזשענעריישאַן פון דער ליכט מקור און רייַבונג פון מעכאַנישע קאָמפּאָנענטן, קען די גראַניט באַזע האַלטן דימענשאַנאַל פעסטקייט און וועט נישט דורכגיין באַדייטנדיק דעפאָרמאַציע צוליב טערמישער אויסברייטונג און קאָנטראַקציע. עס גיט סטאַביל און פאַרלאָזלעך שטיצע פֿאַר די אָפּטישע סיסטעם און די פּרעציזיע באַוועגונג פּלאַטפאָרמע, און האַלט די קאָנסיסטענסי פון פאָטאָליטאָגראַפי אַקיעראַסי.