אין דעם פעלד פון הויך-ענד פאבריקאציע און שניידנדיקער וויסנשאפטלעכער פארשונג, איז דער אולטרא-פרעציזיע באוועגונג מאדול פון דעם לופט פלאטער געווארן א שליסל עקוויפמענט פאר פיינע אפעראציע און מעסטונג מיט זיין אויסגעצייכנטער פרעציזיע פערפארמאנס. די גראניט פרעציזיע באזע, אלס דער שטיצע קערן, האט שטרענגע באדערפענישן פאר דער ארבעטס סביבה, און די פאסיגע סביבה באדינגונגען זענען די באזע צו פארזיכערן זיין סטאבילן פערפארמאנס און דעם בעסטן עפעקט.
ערשטנס, טעמפּעראַטור קאָנטראָל: פּרעציזיע "סטאַביליזאַטאָר"
כאָטש גראַניט איז באַקאַנט פֿאַר זײַן סטאַביליטעט, איז ער נישט אינגאַנצן אימוּן צו טעמפּעראַטור ענדערונגען. כאָטש זײַן קאָעפֿיציענט פֿון טערמישער אויסברייטונג איז נידעריק, בכלל 5-7 ×10⁻⁶/℃, אין אולטראַ-פּרעציציע באַוועגונג קאָנטראָל סצענאַרן, קענען סאַטאַל טעמפּעראַטור פלוקטואַציעס נאָך אַלץ פֿאַראורזאַכן דימענסיאָנעלע ענדערונגען און ווירקן די מאָדול אַקיעראַסי. אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר טשיפּ פאַבריקאַציע וואַרשטאַט, פֿאָדערט דער ליטאָגראַפֿיע פּראָצעס אַ דאַנאַמי-לעוועל פּאָזיציאָנירונג אַקיעראַסי, און די אַמביאַנט טעמפּעראַטור פלוקטוירט מיט 1 °C, און די גראַניט באַזע מיט אַ זײַט לענג פֿון 1 מעטער קען פּראָדוצירן אַ לינעאַרע אויסברייטונג אָדער קאָנטראַקציע פֿון 5-7 מיקראָנס. די קליינע ענדערונג ווערט טראַנסמיטירט דורך דעם אולטראַ-פּרעציציע באַוועגונג מאָדול פֿון דער לופֿט פלאָוט, וואָס איז גענוג צו מאַכן דעם טשיפּ ליטאָגראַפֿיע מוסטער אָפּנייגונג און שטאַרק רעדוצירן די פּראָדוקציע. דעריבער, אויסגעשטאַט מיט גראַניט פּינקטלעכקייט באַזע פון די לופט פלאָוטינג אַלטראַ-פּינקטלעכקייט באַוועגונג מאָדול, די ידעאַל אַרבעט סוויווע טעמפּעראַטור זאָל זיין קאַנטראָולד ביי 20 °C ±1 °C, מיט דער הילף פון הויך-פּינקטלעכקייט קעסיידערדיק טעמפּעראַטור ויסריכט, אַזאַ ווי קעסיידערדיק טעמפּעראַטור און הומידיטי לופטקילונג סיסטעם, קעסיידערדיק מאָניטאָרינג און אַדזשאַסטמאַנט פון די אַמביאַנט טעמפּעראַטור, צו ענשור אַז די טעמפּעראַטור פלוקטואַציעס אין אַ זייער קליין קייט, מיינטיינינג די באַזע גרייס פעסטקייַט, צו ענשור אַז די מאָדול איז הויך-פּינקטלעך אָפּעראַציע.
צווייטנס, הומידיטי פאַרוואַלטונג: דער שליסל צו נעץ-דערווייַז שוץ "שטיין"
הומידיטי איז נאך א וויכטיגער פאקטאר וואס באאיינפלוסט די פערפארמאנס פון א פרעציציע גראניט באזע. אין א הויך הומידיטי סביבה, איז גראניט גרינג צו אבזארבירן וואסער פארע, וואס קען פירן צו קאנדענסאציע אויף דער ייבערפלאך, וואס נישט נאר באאיינפלוסט די פארבינדונג פעסטקייט פון גראניט און דעם אולטרא-פרעציזיע באוועגונג מאדול פון דעם לופט פלאטער, נאר קען אויך פאראורזאכן ייבערפלאך עראזיע און פארקלענערן גלאנץ און גענויקייט אויף לאנגע טערמין. אין דעם אפטישן לינז שלייפן ווארשטאט, אויב די הומידיטי איז העכער ווי 60%RH פאר א לאנגע צייט, וועט דער וואסער פארע וואס איז אדסארבירט אויף דער ייבערפלאך פון דער גראניט באזע אריינמישן זיך מיט דער באוועגונג פון דעם גאז פלאטער גליטשער, אזוי אז די לינז שלייפן גענויקייט ווערט פארקלענערט, און די ייבערפלאך ווערט פעלעריש. דעריבער, זאל די רעלאטיווע הומידיטי פון דער ארבעטס סביבה ווערן שטרענג קאנטראלירט צווישן 40%-60%RH, וואס קען ווערן מאניטארירט און צוגעפאסט אין רעאל צייט דורך אינסטאלירן דעהומידיפייערס, הומידיטי סענסארן און אנדערע עקוויפמענט צו פארמיידן שאדן צו דער גראניט באזע צוליב הויך הומידיטי, און זיכער מאכן די גלאט אפעראציע פון דעם אולטרא-פרעציזיע באוועגונג מאדול פון דעם לופט פלאטער.
דריטנס, ריינקייט גאַראַנטיע: דער "היטער" פון פּינקטלעכקייט
דער שאָדן פון שטויב פּאַרטיקלען צו דער פּרעציזיע גראַניט באַזע פון דעם אולטראַ-פּרעציזיע באַוועגונג מאָדול פון לופט פלאָטאַציע קען נישט אונטערגעשאַצט ווערן. אַמאָל די קליינע פּאַרטיקלען אַרייַן די גאַז פילם שפּאַלט צווישן דעם גאַז פלאָוט סליידער און דער גראַניט באַזע, קענען זיי צעשטערן די איינהייטלעכקייט פון דעם גאַז פילם, פאַרגרעסערן רייַבונג, און אפילו קראַצן די ייבערפלאַך פון דער באַזע, ריזאַלטינג אין רידוסט באַוועגונג אַקיעראַסי. אין דער אולטראַ-פּרעציזיע מאַשינינג וואַרשטאַט פון לופטפאָרט טיילן, אויב די שטויב פּאַרטיקלען אין דער לופט פאַלן אויף דער גראַניט באַזע, קען די באַוועגונג טראַיעקטאָריע פון דעם מאַשינינג געצייַג זיין דיווייייטאַד, אַפעקטינג די מאַשינינג אַקיעראַסי פון די טיילן. דעריבער, דער אַרבעט געגנט זאָל זיין געהאלטן העכסט ריין, דערגרייכן 10,000 אָדער אפילו העכער לעוועלס פון ריינקייַט סטאַנדאַרדס, דורך די ינסטאַלירונג פון לופט רייניקונג ויסריכט, אַזאַ ווי הויך עפעקטיווקייַט לופט פילטערס (HEPA), פילטער אויס די שטויב פּאַרטיקלען אין דער לופט, אין דער זעלביקער צייט, שטעקן דאַרפֿן צו טראָגן שטויב-פֿרייַ קליידער, שוך קאַווערידזשיז, עטק., צו רעדוצירן די שטויב געבראכט דורך מענטשן. האַלטן הויך פּרעציזיע אַפּערייטינג סוויווע פון גראַניט באַזע און לופט פלאָוט אולטראַ-פּרעציזיע באַוועגונג מאָדול.
פיר, ווייבריישאַן אפגעזונדערטקייט: גלאַט אָפּעראַציע פון די "שאָק פּאַד"
די עקסטערנע וויבראציע איז דער שונא פון דער פּינקטלעכקייט פון דעם אולטרא-פּינקטלעכן באַוועגונג מאָדול פון דעם לופט פלאָוט. כאָטש די פּינקטלעכקייט גראַניט באַזע האט אַ געוויסע וויבראציע אַטענואַציע פיייקייט, קען די הויך-שטאַרקייט וויבראציע נאָך ברעכן איר באַפער לימיט. די וויבראציע דזשענערייטאַד דורך דעם פאַרקער אַרום דער פאַבריק און די אָפּעראַציע פון גרויסע מעכאַנישע ויסריכט ווערט טראַנסמיטטעד צו דער גראַניט באַזע דורך דער ערד, וואָס וועט אַריינמישן זיך מיט דער באַוועגונג פּינקטלעכקייט פון דעם אולטרא-פּינקטלעכן באַוועגונג מאָדול פון דעם לופט פלאָוט. אין הויך-ענד CMM, קען וויבראציע פאַרשאַפן דעם קאָנטאַקט צווישן דער מעסטן פּראָבע און דעם ווערקפּיס צו מעסטן צו זיין סטאַביל, ריזאַלטינג אין אַ דיווייישאַן פון די מעסטונג דאַטן. כּדי צו סאָלווע דעם פּראָבלעם, איז עס נייטיק צו אַדאַפּטירן עפעקטיווע וויבראציע איזאָלאַציע מיטלען, אַזאַ ווי לייגן וויבראציע איזאָלאַציע פּאַדס אין די ויסריכט ינסטאַלירונג געגנט, בויען וויבראציע איזאָלאַציע יסוד, אָדער ניצן אַקטיווע וויבראציע איזאָלאַציע סיסטעם צו אַקטיוולי אָפסעט עקסטערנע וויבראציע, און שאַפֿן אַ שטיל און סטאַביל אַרבעט סוויווע פֿאַר די גראַניט פּינקטלעכקייט באַזע און דעם לופט פלאָוט אולטרא-פּינקטלעכן באַוועגונג מאָדול.
נאָר דורך גאָר מקיים זיין די סביבה'דיקע רעקווייערמענץ פון טעמפּעראַטור, הומידיטי, ריינקייט און ווייבריישאַן קאָנטראָל, קען די גראַניט פּרעציזיע באַזע פון די אַלטראַ-פּרעציזיע באַוועגונג מאָדול פון די לופט פלאָוט געבן פול שפּיל צו אירע פאָרשטעלונג אַדוואַנידזשיז, צושטעלן פאַרלאָזלעך גאַראַנטירן פֿאַר אַלטראַ-פּרעציזיע אַפּעריישאַנז אין פאַרשידענע פעלדער, און העלפֿן די אינדוסטריע צו גיין צו אַ העכער פּרעציזיע מאַנופאַקטורינג און וויסנשאַפטלעכע פאָרשונג מדרגה.
פּאָסט צייט: 8טן אַפּריל 2025