דעטעקציע מעטאָדן פֿאַר די פלאַכקייט פון גראַניט פּרעציזיע פּלאַטפאָרמעס.

אין די פעלדער פון פּרעציזיע מאַנופאַקטורינג און וויסנשאַפטלעכע פאָרשונג, איז די פלאַכקייט פון גראַניט פּרעציזיע פּלאַטפאָרמעס אַ שליסל אינדיקאַטאָר צו ענשור די אַקיעראַסי פון ויסריכט. די פאלגענדע איז אַ דיטיילד הקדמה צו עטלעכע הויפּטשטראָם דעטעקציע מעטהאָדס און זייער אָפּעראַציע פּראָוסידזשערז פֿאַר איר.
I. לאַזער ינטערפעראָמעטער דעטעקציע מעטאָד
דער לאַזער אינטערפֿעראָמעטער איז דער בילכער געצייַג פֿאַר הויך-פּרעציציע פלאַכקייט דעטעקציע. נעמט דעם ZYGO GPI XP לאַזער אינטערפֿעראָמעטער ווי אַ בייַשפּיל, זײַן רעזאָלוציע קען דערגרייכן 0.1 נם. ווען מען פֿירט דורך די דעטעקציע, זאָל מען ערשט אויסגלײַכן די ליכט מקור פֿון דעם אינטערפֿעראָמעטער מיט דער פּלאַטפֿאָרמע און צעטיילן די פּלאַטפֿאָרמע ייבערפֿלאַך אין 50 מם × 50 מם גריד געביטן. דערנאָך, זענען די אינטערפֿערענץ פֿראַנדזש דאַטן געזאַמלט געוואָרן פּונקט בײַ פּונקט, און די דאַטן זענען צוגעפּאַסט און אַנאַליזירט געוואָרן מיטן זערניקע פּאָלינאָם צו באַקומען דעם פלאַכקייט פֿעלער. די מעטאָדע איז אָנווענדלעך פֿאַר הויך-פּרעציציע פּלאַטפֿאָרמעס און קען דעטעקטירן פלאַכקייט פֿעלער פֿון ≤0.5μm/m². עס ווערט געוויינטלעך גענוצט אין דער דעטעקציע פֿון פֿאָטאָליטהאָגראַפֿיע מאַשינען און הויך-ענד דריי-קאָאָרדינאַט מעסטונג מאַשין פּלאַטפֿאָרמעס.
II. עלעקטראָנישע לעוועל אַרעי מעטאָד
די עלעקטראָנישע לעוועל אַרעי דעטעקציע איז פּשוט צו אָפּערירן און העכסט עפֿעקטיוו. די TESA A2 עלעקטראָנישע לעוועל (מיט אַ רעזאָלוציע פֿון 0.01μm/m) איז אויסגעקליבן און אָרגאַניזירט געוואָרן אין אַ 9×9 אַרעי צוזאמען די X/Y אַקס ריכטונג פֿון דער פּלאַטפאָרמע. דורך סינקראָניש זאַמלען די ינליניישאַן דאַטן פֿון יעדן לעוועל און דערנאָך ניצן די קלענסטע קוואַדראַט מעטאָדע פֿאַר קאַלקולאַציע, קען מען פּינקטלעך באַקומען די פֿלאַכקייט ווערט. די מעטאָדע קען עפֿעקטיוו ידענטיפֿיצירן די לאָקאַלע קאָנקאַוויטי און קאָנוועקסיטי באַדינגונגען פֿון דער פּלאַטפאָרמע. למשל, אַ פֿלוקטואַציע פֿון 0.2μm אין אַ 50 מם קייט קען אויך דעטעקטירט ווערן, וואָס איז פּאַסיק פֿאַר שנעלע דעטעקציע אין מאַסע פּראָדוקציע.
III. אָפּטיש פלאַך קריסטאַל מעטאָד
די אָפּטישע פלאַכע קריסטאַל מעטאָדע איז פּאַסיק פֿאַר דער דעטעקציע פֿון קליינע שטחים פּלאַטפאָרמעס. באַפֿעסטיקן דעם אָפּטישן פלאַכן קריסטאַל פֿעסט צו דער ייבערפֿלאַך וואָס מען דאַרף טעסטן אויף דער פּלאַטפאָרמע און באַאָבאַכטן די אינטערפֿערענץ־פֿראַנצן וואָס ווערן געשאַפֿן צווישן זיי אונטער דער באַלויכטונג פֿון אַ מאָנאָכראָמאַטישער ליכט־מקור (ווי אַ נאַטריום־לאָמפּ). אויב די סטרייפּס זענען פּאַראַלעלע גלייכע סטרייפּס, ווײַזט דאָס אויף גוטע פלאַכקייט. אויב עס דערשײַנען געבויגענע סטרייפּס, רעכנט אויס דעם פלאַכקייט־פֿעלער באַזירט אויף דעם גראַד פֿון דער סטרייפּ־קרומקייט. יעדע געבויגענע סטרייפּ רעפּרעזענטירט אַ הייך־אונטערשייד פֿון 0.316μm, און די פלאַכקייט־דאַטן קען מען באַקומען דורך אַ פּשוטער קאָנווערסיע.
פיר. דריי-קאָאָרדינאַט מעסטן מאַשין דורכקוק מעטאָד
די דריי-קאארדינאט מעסט מאשין קען דערגרייכן הויך-גענוי מעסטונגען אין דריי-דימענסיאנאלן פלאץ. שטעלט די גראניט פלאטפארמע אויף דער ארבעטס-טיש פון דער מעסט מאשין און ניצט די פראבע צו אייניג זאמלען דאטן פון פארשידענע מעסט-פונקטן אויף דער ייבערפלאך פון דער פלאטפארמע. די מעסט מאשין סיסטעם פארארבעט און אנאליזירט די דאטן צו שאפן א פלאכקייט באריכט פון דער פלאטפארמע. די מעטאד קען נישט נאר דעטעקטירן פלאכקייט, נאר אויך באקומען אנדערע געאמעטרישע פאראמעטערס פון דער פלאטפארמע גלייכצייטיג, און איז פאסיג פאר דער פולשטענדיגער דעטעקציע פון ​​גרויסע גראניט פלאטפארמעס.
מאַסטערינג די דעטעקציע מעטאָדן קען העלפֿן איר אַקיעראַטלי אָפּשאַצן די פלאַכקייט פון די גראַניט פּרעציזיע פּלאַטפאָרמע און צושטעלן אַ פאַרלאָזלעך גאַראַנטירן פֿאַר די סטאַביל אָפּעראַציע פון ​​פּרעציזיע ויסריכט.